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Laboratório de Materiais da Electrónica e Optoelectrónica

O laboratório de Materiais da Electrónica encontra-se dividido em duas grandes áreas: produção e caracterização de materiais/dispositivos.

  • Produção: nesta área o laboratório está equipado com três sistemas de pulverização catódica reactiva e estática e um sistema de spray pirólise (CVD), destinados preferencialmente à produção de óxidos semicondutores, tais como óxidos de zinco, estanho, índio e zircónio dopados e intrínsecos. Os sistemas permitem depositar em grandes superfícies, que podem ir até aos 30 cm × 40 cm, sobre qualquer tipo de substrato. Para além destes sistemas, possui dois protótipos semi-industriais para a produção de dispositivos baseados na tecnologia do silício amorfo hidrogenado por PECVD. Finalmente, possui um sistema de evaporação térmica assistida por canhão de electrões para a produção de películas finas metálicas. De forma a se poderem testar os dispositivos produzidos o laboratório está equipado com dois sistemas para microsoldadura a fio de alumínio e ouro. Toda esta área tem a operar um sistema de corte a laser de duplo feixe, para desenho de máscaras em filmes finos, com resoluções até 20 mm e um laminador, para encapsulamento de dispositivos.

    Em termos de processamento de materiais este laboratório tem uma infraestrutura de microelectrónica semi-industrial equipada com os seguintes equipamentos (principais): 6 fornos de difusão incluindo LPCVD; sistema de erosão seca (dry-etching); dois spinners (para aplicação de fotoresiste positivo e negativo); um alinhador de máscaras semi-automático; sistemas de limpeza por ultra-sons e máquina de lavar; muflas para secagem.

  • Caracterização: o laboratório encontra-se equipado com uma vasta gama de técnicas:


    • espectroscopias de infravermelho, visível e ultravioleta;
    • resposta espectral;
    • PDS e CPM;
    • elipsometria espectroscópica e convencional;
    • criostatos para medidas eléctricas e ópticas em temperatura;
    • efeito de Hall;
    • sistema de quatro pontas para medição da resistência folha (dois);
    • perfilómetros (Sloan Dektak);
    • câmara de teste de sensores de gases;
    • muflas e estufas várias;
    • sistema de DLTS;
    • analisador da característica CV;
    • medidas transientes;
    • analisador de características funcionais de dispositivos, equipado com microprovador.

Este laboratório dá apoio aos alunos de Projecto assim como à maioria das disciplinas sob a responsabilidade da secção de Materiais Semicondutores.