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Laboratório de Microelectrónica

Este laboratório, único numa universidade Portuguesa permite a realização completa de pequenas séries de circuitos integrados utilizando a tecnologia convencional do silício cristalino. Sendo um laboratório de microelectrónica é composto por uma câmara limpa de classes 1 000 e 10 000 partículas/pé3 (filtros de ar absolutos). Este laboratório está equipado com 3 fornos de difusão para realização de oxidação, difusão de fósforo e recozimento de contactos metálicos. Possui ainda uma zona de litografia composta por um alinhador de máscaras (Karl Suss MA 45), um spinner (Karl Suss), microscópio de reflexão (Olympus), para além de todo o tipo de material existente num laboratório químico (estufas, pratos de aquecimentos, ultra sons, etc). Este laboratório dá apoio essencialmente às disciplinas de Microelectrónica, Optoelectrónica e Tecnologia de Produção de Microcircuitos. Em termos de trabalhos práticos realizados é efectuado pelos alunos de Engenharia dos Materiais um MOSFET de canal n, na sua totalidade, partindo de uma bolacha de silício monocristalino tipo p.

Para além deste laboratório, que se encontra fisicamente no edifício do DCM os alunos de projecto (9º e 10º semestre), também utilizam os laboratórios de microelectrónica do Centro de Excelência de Microelectrónica e Optoelectrónica de Processos sob a responsabilidade da secção de Materiais Semicondutores. Tal descrição encontra-se disponível em www.uninova.pt/cemop.

Apoia as mesmas disciplina referidas no laboratório de películas finas.